|
公司基本資料信息
|
||||||||||||||||||||||||||||
本產(chǎn)品為熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實時反應(yīng)氣流瞬時流量，所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。
1.1 使用范圍
質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測量與控制。
1.2 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計
質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控制兩種功能。
質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有流量測量功能，不具備氣流控制功能。
1.3 S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器的特點
☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今先進的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點。
☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放協(xié)議。協(xié)議簡單可靠，兼容性強，易于組網(wǎng)。配合上位機，可進行各種復(fù)雜的計量、控制操作及組態(tài)。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。
☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。
☆可任意角度安裝。
☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。
S48 300/HMT MFC技術(shù)指標(biāo)
表1 S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)
編號 |
項目 |
S48 300/HMT |
1 |
流量規(guī)格 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 |
調(diào)節(jié)閥類型 |
電磁調(diào)節(jié)閥 |
3 |
調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) |
常閉 |
4 |
安裝角度 |
任意 |
5 |
流量控制范圍 |
2%-100%F.S. |
6 |
流量測量范圍 |
0-100%F.S. |
7 |
響應(yīng)時間 |
≤ 1 sec |
8 |
工作環(huán)境溫度 |
5-50℃ |
9 |
精度保證溫度 |
15-35℃ |
10 |
精度 |
±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
11 |
線性精度 |
±0.5%F.S. |
12 |
重復(fù)性 |
±0.2%F.S. |
13 |
工作壓差 |
-5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 |
耐壓 |
3MPa(G) |
15 |
泄漏率 |
＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 |
接觸氣體材料 |
316L，Viton? 氟橡膠，PTFE |
17 |
管路接頭 |
Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 |
供電電源 |
±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
19 |
設(shè)定信號 |
數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ |
20 |
流量輸出信號 |
數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負(fù)載能力≤3mA |
21 |
通訊接口 |
數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xié)議從機，設(shè)備號可選范圍0-15 |
22 |
重量(kg) |
0.9 |
4.2 訂貨規(guī)范
在訂貨時應(yīng)指明是質(zhì)量流量控制器還是質(zhì)量流量計，指明S48 300/HMT產(chǎn)品型號，流量規(guī)格，使用氣體種類，管接頭種類。
例如：MFC(或MFM)-S48 300/HMT(產(chǎn)品型號) 500mL/min(流量規(guī)格) N2(氣體種類) Φ6(管路接頭)
在貯運過程中，不要打開產(chǎn)品包裝，注意防雨、防塵、防磕碰。
不能在極端嚴(yán)寒、高溫、潮濕環(huán)境長時間存放。
